原子力显微镜是一种高分辨的新型显微仪器,具有一系列显著的主要特征,这些特征使其在多个领域得到广泛应用。以下是AFM原子力显微镜的主要特征介绍:
1. 高分辨率与纳米级观测能力
原子级分辨率:原子力显微镜具有原子级别的识别能力,可以在纳米尺度上观测和测量样品表面,其垂直方向的分辨率可达到约0.01nm,这对于表征纳米片厚度等精细结构尤为重要。
多种环境适应性:AFM原子力显微镜可以在多种环境下工作,包括空气或溶液中,这使得它在不同实验条件下都能发挥作用。
2. 多样化的成像模式
接触模式:针尖与样品表面距离较小,利用原子间的斥力进行成像,可获得高解析度图像,但可能导致样品变形和针尖受损,不适合表面柔软的材料。
非接触模式:针尖距离样品表面5-20纳米,利用原子间的吸引力进行成像,不损伤样品表面,可测试表面柔软的样品,但分辨率较低,存在误判现象。
轻敲模式:针尖在扫描过程中周期性地接触和离开样品表面,以减少表面损伤并提高成像分辨率,其分辨率几乎与接触模式相同。
3. 丰富的测试项目与功能
表面形貌与粗糙度测量:原子力显微镜可以精确测量样品表面的形貌、粗糙度等参数,如表面平均粗糙度Ra和均方根粗糙度Rq,为材料表面质量评估提供重要依据。
力学性质测试:通过力曲线分析,AFM原子力显微镜可以表征样品表面的力学性质,如杨氏模量、黏附力等。
特殊模式应用:如PFM(压电力显微镜)、EFM(静电力显微镜)、KPFM(表面电势)等,进一步拓展了原子力显微镜在材料表面物理性质测试方面的应用。
4. 广泛的应用领域
材料科学:用于研究金属、半导体、陶瓷、高分子等材料的表面形貌和物理性质。
生物医学:在生物分子、细胞表面结构等领域发挥重要作用,如研究蛋白质、DNA等生物大分子的表面形态。
半导体加工:在半导体加工过程中,AFM原子力显微镜可用于无损测量高纵比结构(如沟槽和台阶)的深度和宽度,以及表征纳米片厚度等。
5. 样品制备与要求
样品状态可为粉末、液体、块体、薄膜等,但需满足一定的尺寸和表面要求。
粉末样品颗粒一般不超过5微米,液体样品浓度不宜过高以避免粒子团聚损伤针尖。
薄膜或块状样品需标明测试面,并确保表面平整、干净、均匀。
综上所述,原子力显微镜以其高分辨率、多样化的成像模式、丰富的测试项目与功能以及广泛的应用领域等特征,在科学研究和工业生产中发挥着重要作用。