原子力显微镜是表征薄膜性质的重要手段之一，它不仅是一台显微镜，更是一个多功能的微纳测量与操纵平台。
当原子力显微镜探针的针尖与样品比较接近的时候，在针尖原子与样品表面原子之间相互作用力的影响下，悬臂梁会发生偏转引起反射光的位置发生改变；当探针在样品表面扫过的时候，光电检测系统会记录激光的偏转量（悬臂梁的偏转量）并将其反馈给系统，通过信号放大器等将其转换成样品的表面形貌特征。
原子力显微镜的核心部件就是原子力探针，原子力显微镜探针的质量（是否磨损或者是被污染）会直接决定扫描结果的真实性。当原子力显微镜探针出现磨损的时候，扫描得到的样品形貌图像会出现大量规则的三角形；当原子力显微镜探针磨损严重或者是被污染的时候，形貌图像中会出现规则的重影图案。这些因探针磨损而出现三角形或者是重影图案被称为伪迹，当形貌图像中出现伪迹时需要及时的更换探针，否则测量得到的数据不可信。