原子力显微镜是一种以扫描隧道显微镜基本原理发展起来的扫描探针显微镜，利用原子/分子间的相互作用力来获得样品表面微观形貌和力的信息。afm原子力显微镜是一种可用来研究包括绝缘体在内的固体材料表面结构的分析仪器。它通过检测待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的很微弱的原子间相互作用力来研究物质的表面结构及性质。将一对微弱力敏感的微悬臂一端固定，另一端的微小针尖接近样品，这时它将与其相互作用，作用力将使得微悬臂发生形变或运动状态发生变化。扫描样品时，利用传感器检测这些变化，就可获得作用力分布信息，从而以纳米级分辨率获得表面结构信息。
原子力显微镜的分辨率在纳米量级，比光学衍射JI限高1000倍以上。信息是通过用机械探针“感觉”或“触摸”表面来收集的。压电元件有助于根据(电子)命令进行微小但精确的移动，从而实现准确扫描。可以检测很多样品，提供表面研究和生产控制或流程发展的数据，这些都是常规扫描型表面粗糙度仪及电子显微镜所不能提供的。