今天小编主要带大家了解下原子力显微镜的结构，下面我们一起来看一下。在原子力显微镜（简称AFM）的系统中，可以分为三个部分：力检测部分，位置检测部分，反馈系统。下面我们来具体了解下。
1、力检测部分
在AFM的系统中，所要检测的力是原子跟原子间的范德华力。因此在AFM的系统中是使用微小悬臂来检测原子之间力的变化量。一般情况下，微悬臂通常是由一个大约100~500μm长以及约500nm~5μm厚的硅片或者是氮化硅片制成的。微悬臂顶端有一个非常尖锐的针尖，主要是用来检测样品与针尖之间的相互作用力。这个微悬臂是有一定的规格的，像：长度、宽度、弹性系数以及针尖的形状，而选择这些规格的主要是依据是：根据检测样品的特性，以及不同的操作模式，来选择不同类型的探针。
2、位置检测部分
在原子力显微镜的系统中，当探针针尖与样品的表面之间产生相互作用之后，会使得悬臂摆动，当激光照射在微悬臂末端的时候，其反射光的位置也会因为悬臂摆动而有所改变，这就造成偏移量的产生。在整个系统中是依靠激光光斑位置检测器把偏移量记录下并且转换成电的信号，以供SPM控制器作信号处理。
3、反馈系统
在原子力显微镜的系统中，将信号经过由激光检测器取入后，反馈系统中会把这个信号当作反馈信号，作为内部的调整信号，并且驱使通常由压电陶瓷管制作的扫描器做一定的移动，以维持样品跟探针针尖之间的作用力。
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