一、设备开机
1、打开原子力显微镜主机电源。
2、开启电脑、运行软件。
3、在软件界面点击SPM init进行设备初始化，如显示SPM OK可继续操作，如不显示SPM OK重启软件。
4、点open door开操作门，点灯泡按钮照亮。
二、样品准备
1、将表面洁净样品使用专用双面胶粘贴至设备配备的圆形载物片上(Z好两个台子一起使用，以便旋转样品)。
2、通过检测组件上的按钮或者软件点open door开启样品室舱门，点灯泡按钮照亮，点击软件界面上的AFM-STM退针钮使显微镜探头缩回。
3、使用专用镊子将样品连同载物片放入磁性样品台上，小心调整样品区域之中间。小心不要碰触探头、激光源等。
4、点击AFM原子力显微镜软件界面的AFM-STM使探头移回。关闭舱门。
三、操作程序
1、运行软件的camera功能。
2、运行软件的aiming功能。
3、运行AFM钮，使针头伸出。
4、运行软件的Resonance功能，选择semicontact模式，在probes里选择对应针尖，点击Auto，调节探针悬臂的共振频率。
5、运行landing，观察way值变化。
6、运行软件的Approach功能，自动完成下针。使探针下降至检测距离。
7、点击Scanning按钮，开始样品扫描，扫描图样将自动保存至指定文件夹。
注意：①除去扫描过程，其他改变任何程序或移动样品的操作都应先关闭反馈键使ON变为OFF。②取放样品时均应首先软件操作使探头缩回。③原子力显微镜扫描结果的优劣决定于当前探针状态(是否断针和污染)和所选用的反馈灵敏度Gain。在确保不损伤仪器以及珍贵探针的情况下进行优化调节。④AFM原子力显微镜扫描过程中需要大幅移动样品，应当在Approach功能区将样品台下降至足够的高度，防止损伤探针。
四、换样品及关机程序
1、关闭反馈键off。
2、运行Approach蓝色move使样品下降，一般点击3-4次。
3、软件控制缩回探头，样品取出(如果是换下一个样品，则重复二、三中的步骤，如果测试完毕，则继续以下步骤)、关闭舱门。
4、关闭软件及电脑。
5、关闭原子力显微镜主机电源。