扫描探针显微镜（SPM）是一种统称，它是在扫描隧道显微镜的基础上发展起来的新型探针显微镜，如静电力显微镜，原子力显微镜，磁力显微镜，扫描离子电导显微镜，扫描电化学显微镜等都是扫描探针显微镜。
1、扫描探针显微镜无论是在化学、物理、生物、医学还是在材料、微电子等各大领域都有着非常广泛的应用。而且扫描探针显微镜的价格对比电子显微镜等大型仪器来说还算是较低的。
2、同其它表面分析技术相比，扫描探针显微镜是有着很多优势的，不但能够得到高分辨率的表面成像，和其他类型的显微镜相比（像电子显微镜，光学显微镜），扫描探针显微镜它扫描成像的一个非常大的优点就是可以成三维的样品表面图像，并且还可以对材料的很多不同性质进行研究。同时，扫描探针显微镜也正在向着更高的目标发展。它不仅要可以作为一种测量分析工具，而且还要成为一种加工工具，也将使人们有能力在极小的尺度上对物质进行改性、重组、再造。
虽然扫描隧道显微镜在化学中的应用研究才只有几年，但它涉及到的范围却是及其广泛的。因为扫描隧道显微镜的*早期研究工作是在超高真空中进行的，因此*直接的化学应用是观察和记录超高真空条件下金属原子在固体表面的吸附结构。