AFM全称Atomic Force Microscope,即原子力显微镜,它是应用范围广,可用于表面观察、尺寸测定、表面粗糙测定、颗粒度解析、突起与凹坑的统计处理、成膜条件评价、保护层的尺寸台阶测定、层间绝缘膜的平整度评价、VCD涂层评价、定向薄膜的摩擦处理过程的评价、缺陷分析等。
做AFM原子力显微镜测试对样品有以下几点要求:
①对象可以是有机固体、聚合物以及生 物大分子等。
②样品大小一般不超过 1cm,高度也应控制在 1cm 以下,样品表面起伏不超过 15μm。
③测试薄膜厚度应控制在 15μm 以下。
这里要解释一下为什么对样品厚度有要求,因为我们一般采用轻敲式,对于厚度较大的样品或是很硬的样品而言,针尖仍可能受损。