原子力显微镜电磁特性主要包括电流／皮安级电流、扫描扩展电阻显微镜（ssrm）、开尔文显微镜（KFM）、静电力显微镜（EFM）、压电响应力显微镜（PRM）、磁力显微镜（MFM）。
电流／皮安级电流:偏压条件下水平方向扫描样品，测量探针和样品之间的电流，观察电流分布。
电流／皮安级电流
扫描扩展电阻显微镜（ssrm）:通过使用超导电性坚固悬臂，向样品施加偏压，测量与探针接触位置的微电流，在广域范围内样品表面的局部电阻分布大于6阶。充分覆盖半导体掺杂浓度范围。
扫描扩展电阻显微镜（ssrm）
开尔文显微镜（KFM）：通过在导电悬臂和样品之间施加交流电，依据反馈通过反向加直流电压使探针振幅为零，从而获得样品表面电位。包括：CC-KFM(循环接触式KFM)、NC-KFM(非接触式KFM)
开尔文显微镜（KFM）
静电力显微镜（EFM）：在导电悬臂和样品之间施加AC或DC电压信号，并通过AC电压形成静电力分量（振幅分量和相分量）的图像。包括：EFM(AC)···AC场响应、EFM(DC)···DC场响应、KFM可以直接测量样品表面电位、EFM不能直接测量样品表面电位，但它的响应速度比KFM快，而且便于观察样品的电学特性。
静电力显微镜（EFM）
压电响应力显微镜（PRM）：在探针和样品之间施加AC电流，通过扫描样品观察样品的应变分布，测量出铁电的应变分量。
压电响应力显微镜（PRM）
磁力显微镜（MFM）：磁性探针和样品之间产生磁力作用，随着悬臂振动电位发生变化，形成样品表面电位图。真空环境下测试样品时，可获得高灵敏度、高分辨率的磁畴成像。