薄膜表面形貌和粗糙度表征
原子力显微镜通过检测待测样品表面和探针之间的相互作用力来表征样品的表面结构及性质,它可以对样品的表面形貌起伏、结构变化进行表征，获得样品表面的形貌、粗糙度和结构尺寸等信息。同时轻敲模式下可以得到相图，表征样品的组分、硬度、粘弹性质，模量等因素引起相位角变化。
数据分析软件中对样品的形貌进行三维模拟显示，使图像的视觉效果更加直观。利用数据分析软件还能得到测定区域内常用的表征粗糙度的参数（表面平均粗糙度Ra和均方根粗糙度Rq）和其他表征样品表面的部分参数。
送样须知
块体、晶圆、薄膜等待测样品尺寸：5mm-210mm(可裁剪、破片的样品尺寸可超过210mm)，高度：小于15mm。
测试面需保持清洁无污染，不稳定的样品需抽真空后寄样防止样品变质，特殊样品可寄样前沟通确认。