要对悬臂的弯曲量进行精确测量，除了在AFM原子力显微镜中使用光杠杆这个方法外，还有哪些方法可以达到相同数量级的测量精度?

要对悬臂的弯曲量进行精确测量，除了在AFM原子力显微镜中使用光杠杆这个方法外，还有哪些方法可以达到相同数量级的测量精度?

对于悬臂弯曲的测量还可以采取电学方法，包括隧道电流法以及电容法。

隧道电流法根据隧道电流对电极间距离非常敏感的原理，将SIM用的针尖置于微悬臂的背面作为探测器，通过针尖与微悬臂间产生的隧道电流的变化就可以检测由于原子间相互作用力令微悬臂产生的形变。

电容法通过测量微悬臂与一参考电极间的电容变化来检测微悬臂产生的形变。