原子力显微镜，激光共聚焦显微镜，扫描电镜无论是在产品功能上还是在产品性能上都相差很多，其中包括：
1、扫描驱动方式不同：
①激光共聚焦：激光转镜控制激光扫描范围和扫描速度。
②AFM原子力显微镜：压电位移传感器驱动样品台X、Y 方向扫描。
③扫描电镜：电磁线圈控制电子束扫描范围和扫描速度。
2、工作环境差别：
①激光共聚焦和原子力显微镜可以在大气环境中进行测试样品。
②一般扫描电镜要在高真空环境下进行测试样品。
3、应用范围差别：
①激光共聚焦：几倍-几千倍，样品制备简单。
②AFM原子力显微镜：几万倍~几千万倍，要求样品非常平坦，样品制备很难。
③扫描电镜 ：几倍~几十万倍，样品制备稍微复杂一些，但总体也很简单。
4、立体成像的差别：
①激光共聚焦：通过纳米精度步进电机驱动样品在Z轴方向逐层成像，软件将设定的各层图像合成清晰立体图像。
②原子力显微镜：成像的本质就是测量表面每个像素点的高低，描绘出立体形貌。
③扫描电镜：单帧图像具有很大景深，但属于二维图像，通过立体对技术可实现三维成像。