影响原子力显微镜分辨率大小的因素主要包括以下几点：
1、采集图像的步宽：AFM原子力显微镜图像由许多点组成，其采点的形式是扫描器沿着齿形路线进行扫描，计算机以一定的步宽取数据点。步宽越小，分辨率越高。
2、针尖的形状：原子力显微镜成像实际上是针尖形状与表面形貌作用的结果，针尖的形状是影响侧向分辨率的关键因素。针尖影响AFM原子力显微镜成像主要表现在两个方面：针尖的曲率半径和针尖侧面角。曲率半径越小，越能分辨精细结构。
3、样品表面的起伏：样品表面起伏较大的大型扫描比非接触式的更有效。
4、此外，色差也会影响原子力显微镜的分辨率，但主要发生在透镜成像的情况下。
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