轻敲模式AFM（Atomic Force Microscopy）原子力显微镜是一种高分辨率的表面形貌测量技术。轻敲模式是AFM的三种基本成像模式之一，其工作原理如下：
在轻敲模式中，微悬臂在其共振频率附近做受迫振动，振荡的针尖轻轻地敲击表面，间断地和样品接触。当针尖与样品不接触时，微悬臂以*大振幅自由振荡。当针尖与样品表面接触时，尽管压电陶瓷片以同样的能量激发微悬臂振荡，但空间阻碍作用使得微悬臂的振幅减小。反馈系统控制微悬臂的振幅恒定，针尖就跟随表面的起伏上下移动，从而获得形貌信息。
轻敲模式的特点在于它类似于非接触模式，但比非接触模式更靠近样品表面。这种模式的优点在于它对样品的损害可能性比接触模式少，因为它不使用侧面力、摩擦或拖拽。然而，轻敲模式可能不适用于所有类型的样品，特别是那些表面非常柔软或易碎的样品。
总的来说，轻敲模式AFM原子力显微镜是一种非常有用的工具，可以用于研究各种材料和样品的表面形貌和物理性质。它不仅可以提供高分辨率的图像，还可以对样品的力学性质、表面粗糙度等进行测量和分析。