原子力显微镜的分辨率和扫描范围可以根据不同的型号和制造商有所差异。以下是一些具体的参数信息：
分辨率：
侧向分辨率（横向分辨率）：通常可以达到0.2nm或0.1nm，这取决于采集图像的步宽和针尖形状。高质量的针尖可以提供1~2nm的分辨率。
垂直分辨率（纵向分辨率）：一般为0.05nm或0.01nm。
扫描范围：
XY扫描范围：可以从20μm×20μm到更大的范围，如50μm×50μm、100μm×100μm甚至90μm×90μm。有些设备还提供了更大的可选范围，以满足不同样品的测试需求。
Z扫描范围：通常为2.5μm，但也可以选择更大的范围，如5μm、10μm或4um、6um。
综上所述，AFM原子力显微镜的分辨率和扫描范围都非常适合纳米级别的测量和分析。通过调整不同的参数和操作模式，原子力显微镜可以应用于各种领域，如半导体行业、汽车制造、生物学等，以研究材料的表面形貌、粗糙度、静电力、磁力等性能。