原子力显微镜在纳米科学研究领域中发挥着至关重要的作用，其重要参数主要包括以下几个方面：
扫描范围：
XY方向扫描范围：AFM原子力显微镜的XY方向扫描范围决定了其在样品表面上的扫描面积。较大的扫描范围允许研究人员在更大的区域内观察和分析样品的表面形貌和特性。例如，90μm*90μm的扫描范围允许原子力显微镜在较大的尺度上捕获样品表面的细节。
垂直方向扫描范围：垂直方向的扫描范围决定了AFM原子力显微镜在样品表面上的深度探测能力。例如，10μm的垂直扫描范围允许原子力显微镜在纳米尺度上深入探索样品表面的微观结构。
分辨率：
AFM原子力显微镜能够以原子级的分辨率获得样品的表面形貌信息。这是其与其他显微技术相比的一大优势。持续稳定的原子级分辨率对于获得高质量的表面形貌图像至关重要。
样品尺寸：
原子力显微镜能够处理的样品尺寸也是其重要参数之一。例如，能够处理直径210mm、厚度15mm的样品使得AFM原子力显微镜具有较大的样品兼容性，能够满足不同研究需求。
测试模式：
原子力显微镜具有多种测试模式，如接触模式、轻敲模式和peakforce模式等。这些模式的选择取决于样品的特性和研究目标。例如，轻敲模式适用于对柔软或易受损的样品进行测试，而接触模式则适用于需要更高分辨率的测试。
特殊模块功能附件：
AFM原子力显微镜可以搭载各种特殊模块功能附件，如KPFM、PFM、EFM、MFM、CAFM等，以扩展其测试能力。这些附件使得原子力显微镜能够测量样品的电学、磁学等性质，为纳米科学研究提供更为全面的信息。
反馈回路：
AFM原子力显微镜的反馈回路对于保持探针在样品表面上方的高度和生成准确的原子力显微镜图像至关重要。通过不断调整探针的高度以保持恒定的作用力，反馈回路确保了AFM原子力显微镜能够获得高质量的表面形貌图像。
软件支持：
先进的软件支持也是原子力显微镜的重要参数之一。这些软件可以处理和分析AFM原子力显微镜生成的图像数据，提取出有关样品表面形貌、粗糙度、弹性、硬度等特性的信息。
综上所述，原子力显微镜的重要参数包括扫描范围、分辨率、样品尺寸、测试模式、特殊模块功能附件、反馈回路和软件支持等。这些参数共同决定了AFM原子力显微镜在纳米科学研究领域中的测试能力和应用范围。