与传统的光学显微镜相比，原子力显微镜的分辨本领主要受以下因素影响：
一、针尖因素
AFM原子力显微镜成像实际上是针尖形状与表面形貌作用的结果，针尖的形状是影响侧向分辨率的关键因素。具体表现在：
曲率半径：针尖的曲率半径决定Z高侧向分辨率。曲率半径越小，越能分辨精细结构。
侧面角：探针的侧面角决定Z高表面比率特征的探测能力。
二、扫描参数
步宽（Step size）：原子力显微镜图像由许多点组成，扫描器沿着特定路线进行扫描，计算机以一定的步宽取数据点。步宽越小，采集到的数据点越密集，图像的侧向分辨率越高。例如，扫描1μm × 1μm尺寸图像时，若每幅图像取512×512数据点，则步宽为2nm（1μm/512），此时高质量针尖可以提供1~2nm的分辨率。
三、设备性能
原子力显微镜的设备性能也会影响其分辨本领，包括但不限于扫描器的精度、稳定性、控制系统等。
四、环境因素
虽然环境因素对AFM原子力显微镜分辨本领的直接影响相对较小，但保持测试环境的稳定（如温度、湿度、振动等）对于确保原子力显微镜的高分辨率成像仍然至关重要。
五、与光学显微镜的对比
光源限制：光学显微镜的分辨率受到光源波长的限制，波长越短，分辨率越高。而AFM原子力显微镜则不受此限制，因为它不依赖光学成像原理。
衍射极限：光学显微镜由于光的衍射特性存在“衍射极限”，限制了其分辨本领的进一步提升。而原子力显微镜通过检测样品表面与探针之间的相互作用力来成像，不受衍射极限的影响。
综上所述，AFM原子力显微镜的分辨本领主要受针尖形状、扫描参数、设备性能以及环境因素的影响。这些因素共同决定了原子力显微镜在纳米尺度下对样品表面形貌和结构的高分辨率表征能力。