◆性能特点:
实现探针和样品组合式移动扫描的商业化原子力显微镜。
采用三轴独立闭环压电平移式扫描台,实现大范围高精度扫描。
三轴独立式扫描,XYZ互不影响,非常适合三维材料及形貌检测。
电动控制样品移动台和升降台,可任意编程多点位置实现快速自动化检测。
龙门架式扫描头设计,大理石底座,真空吸附和磁性吸附式载物台。
马达自动控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式,保护探针及样品。
高倍辅助光学显微定位,实时观测与定位探针以及样品扫描区域。
闭环压电扫描台无需非线性校正,纳米表征和测量精度优于99.5%。
◆测量范围及应用:
测量范围:二维、三维、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。
应用:纳米材料、石墨烯、薄膜、钝化膜、短切玻纤复材、分子筛、TiO2、CrPS4(15)、CrPS4(16)、中空纤维膜丝、粗糙度测试、四氧化三铁、M13-PBA等。
◆ 应用案例 Application Case
序号 | 名称 | 技术参数 |
01 | 工作模式 | 接触模式、轻敲模式 |
02 | 选配模式 | 摩擦力/侧向力、振幅/相位、磁力/静电力 |
03 | 力谱曲线 | F-Z力曲线、RMS-Z曲线 |
04 | XY扫描方式 | 样品驱动式扫描,闭环压电平移式扫描台 |
05 | Z扫描方式 | 探针驱动式扫描 |
06 | XY扫描范围 | 闭环100×100um |
07 | Z扫描范围 | 10um |
08 | 扫描分辨率 | 闭环XY向0.5nm,Z向0.05nm |
09 | XY样品台 | 步进电机驱动控制,移动精度1um |
10 | XY移动行程 | 100×100mm(可选200×200mm,300×300mm) |
11 | 样品载物台 | 直径100mm(可选200mm,300mm) |
12 | 样品重量 | ≤0.5Kg |
13 | Z升降台 | 步进电机驱动控制,很小步长10nm |
14 | Z升降行程 | 15mm(可选20mm,25mm) |
15 | 光学定位 | 10X光学物镜 |
16 | 摄像头 | 500万像素数字CMOS |
17 | 扫描速率 | 0.6Hz~30Hz |
18 | 扫描角度 | 0~360° |
19 | 运行环境 | Windows XP/7/8/10操作系统 |
20 | 通信接口 | USB2.0/3.0 |
21 | 仪器结构 | 龙门架式扫描头,大理石底座 |
22 | 减震方式 | 气浮式减震台+金属屏蔽隔音箱(可选主动式减震台) |