◆性能特点：
激光检测头和样品扫描台集成一体，结构非常稳定，抗干扰性强。
精密探针定位装置，激光光斑对准调节非常简便。
单轴驱动样品自动垂直接近探针，使针尖垂直于样品扫描。
马达控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式，保护探针及样品。
高精度大范围的压电陶瓷扫描器，可自由选择。
高倍物镜自动光学定位，无需调焦，实时观测与定位探针样品扫描区域。
弹簧悬挂式防震方式，简单实用，防震效果好。
金属屏蔽隔音箱，内置高精度温湿度传感器，实时监测工作环境。
集成扫描器非线性校正用户编辑器，纳米表征和测量精度优于98%。
◆测量范围及应用：
测量范围：二维、三维、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。
应用：纳米材料、石墨烯、薄膜、钝化膜、短切玻纤复材、分子筛、TiO2、CrPS4（15）、CrPS4（16）、中空纤维膜丝、粗糙度测试、四氧化三铁、M13-PBA等。
◆ 应用案例 Application Case
序号 | 名称 | 技术参数 |
01 | 工作模式 | 接触模式、轻敲模式 |
02 | 选配模式 | 摩擦力/侧向力、振幅/相位、磁力/静电力 |
03 | 力谱曲线 | F-Z力曲线、RMS-Z曲线 |
04 | XY扫描范围 | 50×50um，可选20×20um，100×100um |
05 | Z扫描范围 | 5um，可选2.5um，10um |
06 | 扫描分辨率 | 横向0.2nm，纵向0.05nm |
07 | 样品尺寸 | Φ≤90mm，H≤20mm |
08 | 样品台行程 | 25×25mm |
09 | 光学观察 | 10X光学物镜/1um分辨率 |
10 | 扫描速率 | 0.6Hz~30Hz |
11 | 扫描角度 | 0~360° |
12 | 运行环境 | Windows XP/7/8/10操作系统 |
13 | 通信接口 | USB2.0/3.0 |
14 | 减震设计 | 弹簧悬挂/金属屏蔽箱 |