关于原子力显微镜在材料学研究中的应用

 文章库     |      2022-05-23 10:23:17

原子力显微镜AFM是利用探针与被测样品表面之间力的相互作用这一物理现象,得出样品表面的观察图象(3D图象)。因此不像STM扫描隧道显微镜一样,要要求样品表面能够导电,才可对样本进行探测。

对于不具有导电性的样品,例如:组织、生物材料和有机材料等绝缘体,原子力显微镜AFM同样可得到高分辨率的表面形貌图像。因此,原子力显微镜AFM更具适应性和广阔的应用空间。原子力显微镜AFM可以在真空、超高真空、气体、溶液、电化学环境、常温和低温等环境下使用,其基底也可以是云母、硅、高取向热解石墨、玻璃等。原子力显微镜AFM已被广泛地应用于表面分析的各个领域,通过对表面形貌的探测分析,是使用者获得更深层次的信息。


 原子力显微镜下的SiC晶圆.png


通过检测探针与样品间的作用力可表征样品表面的三维形貌,这是原子力显微镜AFM的更基本功能。

由于原子力显微镜AFM能够准确的将样品表面的高低起伏状态以数值的形式展现,其对表面整体图像进行分析可得到样品表面的粗糙度、颗粒度、平均梯度、孔结构和孔径分布等参数,也可对样品的形貌进行丰富的三维模拟显示,使图像更适合于人的直观视觉。

在半导体加工过程中通常需要测量高纵比结构,像沟槽和孔洞,用来确定刻蚀的深度和宽度。如果使用扫描电镜的话,需要将样品沿截面切开才能测量。而原子力显微镜AFM可以进行无损测量。

上述内容就是小编介绍的原子力显微镜在材料学研究的应用。更多关于原子力显微镜的相关知识都可以电话问小编哦